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多晶硅太阳制绒工艺的缺陷

发布日期:2021/11/16 6:18:50 浏览次数:338

多晶硅太阳制绒工艺中,绒面的好坏通常是通过刻蚀厚度、反射率和表面黑线运几个参数来直接反映的。制绒过程是通过腐蚀一定量的硅片来添加定量的药液,对于运种定量加液的方法,其存在如下缺陷:
  开机生产时硅片的刻蚀厚度、反射率和表面黑线都很不稳定,导致第一个转换效率较低;在生产过程中的浓度起伏不定,导致刻蚀厚度和反射率波动较大,表面黑线也无法彻底解决;无法彻底解决硅片表面黑线问题,最后均匀度也无法保证,最终影响转换效率。若长时间生产能控制并保证同浓度,最终稳定并提高转换效率。
  但是,目前行业中多晶硅腐蚀速度很快,必须很好地控制制绒工艺的浓度比例和时间,现有设备还没有通过浓度测试和流量循环一体化来管控浓度,还是通过腐蚀定量的硅片,使浓度波动较大同时出现浓度梯度,硅片刻蚀厚度、反射率和表面黑线波动较大,影响转换效率。 
  多晶硅太阳制绒浓度流量循环计装置,包括浓度流量循环计、外围配液区、循环累、冷却系统和制绒槽;在配液区配好后分别通过管道注入浓度流量循环计中,浓度流量循环计再通过管道分别与外围配液区联通形成循环系统;所述浓度流量循环计通过循环累槽连接;经冷却系统与制绒槽连接。
  多晶硅太阳制绒浓度流量循环计装置,其特征在于:溶液和纯水的管道上分别设置有若干个加液阀、流量计和滴定阀。多晶硅太阳制绒浓度流量循环计装置,用于监控槽中浓度的探测器。
  多晶硅太阳制绒浓度流量循环计装置,将溶液和纯水配好后分别通过管道注入浓度流量循环计中,浓度流量循环计再通过管道分别与外围配液区联通形成循环系统;浓度流量循环计通过循环泵与槽连接。

制绒工序十分重要,不管是单晶硅片还是多晶硅片,都可以用酸或者碱来处理。无论用哪种方法处理,一般情况下,用碱处理是为了得到金字塔状绒面;用酸处理是为了得到虫孔状绒面。不管是哪种绒面,都可以提高硅片的陷光作用。
  但是目前在制绒过程中,硅片背面经常出现大量的黑色滚轮印,对后面的工艺以及质量异常分析都造成了较大的影响。


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