单晶制绒设备特点

　　单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的，不同晶向上的腐蚀速率不一样。

　　利用这一原理，将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀，即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观，这一过程称为单晶碱制绒。不管是单晶硅片还是多晶硅片，都可以用酸或者碱来处理。无论用哪种方法处理，一般情况下，用碱处理是为了得到金字塔状绒面；用酸处理是为了得到虫孔状绒面。不管是哪种绒面，都可以提高硅片的陷光作用。

　　单晶制绒剂主要有EPW(乙二胺、邻苯二甲酸和水)、TMAH(氢氧化四甲基铵)等，无机腐蚀剂主要有KOH、NaOH、Na2SiO3、Na3PO4等。同时为了优化工艺，常常在碱溶液中加入添加剂，如异丙醇、(NH4)2S2O4、N2H4·H2O等。反应的主要方程式为

　　单晶制绒设备特点：

　　1. 节能设计，相较于同行业设备，配槽量节省10%以上，补液量节省4%以上，用电量节省6%以上，用水量节省7%以上。

　　2. 碎片率≤0.05%，良率99.5% 。         

　　3. 预热系统，即时热水供应系统，热水温度80°C，换液时间60min内  。   

　　4. 温控精度±0.5℃。

　　5. 补液量≤100ml时精度±0.5ml，补液量≥100ml时精度±1%。         

　　6. 晶洲自有专利技术循环系统，内置式快速循环盘管系统，可实现20s内快速循环，保证槽体内药水及温度的均匀性。

　　7. 快速换液，设备模块化设计，分级多段控制，支持滚动生产，换液配槽不停机。

　　8. 设备可搭配时创、纳鑫、苏大等行业内多种知名添加剂。

　　9. 操作系统分四级管理操作权限，便于客户生产管理。