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单晶制绒设备特点

发布日期:2021/11/16 6:17:26 浏览次数:410

  单晶硅片在一定浓度范围的碱溶液中被腐蚀时是各向异性的,不同晶向上的腐蚀速率不一样。

  利用这一原理,将特定晶向的单晶硅片放入碱溶液中腐蚀,即可在硅片表面产生出许多细小的金字塔状外观,这一过程称为单晶碱制绒。不管是单晶硅片还是多晶硅片,都可以用酸或者碱来处理。无论用哪种方法处理,一般情况下,用碱处理是为了得到金字塔状绒面;用酸处理是为了得到虫孔状绒面。不管是哪种绒面,都可以提高硅片的陷光作用。

  单晶制绒剂主要有EPW(乙二胺、邻苯二甲酸和水)、TMAH(氢氧化四甲基铵)等,无机腐蚀剂主要有KOH、NaOH、Na2SiO3、Na3PO4等。同时为了优化工艺,常常在碱溶液中加入添加剂,如异丙醇、(NH4)2S2O4、N2H4·H2O等。反应的主要方程式为

  单晶制绒设备特点:

  1. 节能设计,相较于同行业设备,配槽量节省10%以上,补液量节省4%以上,用电量节省6%以上,用水量节省7%以上。

  2. 碎片率≤0.05%,良率99.5% 。         

  3. 预热系统,即时热水供应系统,热水温度80°C,换液时间60min内  。   

  4. 温控精度±0.5℃。

  5. 补液量≤100ml时精度±0.5ml,补液量≥100ml时精度±1%。         

  6. 晶洲自有专利技术循环系统,内置式快速循环盘管系统,可实现20s内快速循环,保证槽体内药水及温度的均匀性。

  7. 快速换液,设备模块化设计,分级多段控制,支持滚动生产,换液配槽不停机。

  8. 设备可搭配时创、纳鑫、苏大等行业内多种知名添加剂。

  9. 操作系统分四级管理操作权限,便于客户生产管理。


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